关键字： 室内空气品质论文 AMC 污染源 活性炭 兼容性

洁净室内化学气体污染物的分类及控制内容介绍
提出以控制半导体行业AMC污染为目的，对应污染产生的来源应采取的减除措施。并细述各种化学过滤器的分类及适用场合，最后列举实际案例说明化学过滤器的选配及安装位置。

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