洁净室内化学气体污染物的分类及控制内容介绍提出以控制半导体行业AMC污染为目的,对应污染产生的来源应采取的减除措施。并细述各种化学过滤器的分类及适用场合,最后列举实际案例说明化学过滤器的选配及安装位置。PDF格式的稿件需要使用AcrobatReader阅读工具才能打开,点击这里下载免费的Acroba[详情]
洁净室内化学气体污染物的分类及控制 类别：[ 学生专区-专业论文]
