关键字： 设计案例 垂直单向流洁净室 风机过滤单元 变频 自控

某硅晶片生产厂房净化空调设计内容介绍
结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例，介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。

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