关键字： 节能 热回收 节能 变频器 晶圆厂

晶圆厂节能改造内容介绍
以某6英寸晶圆厂节能改造工程为例，详细介绍了热回收装置、变频器和T5一体化节能灯在节能方面的应用及相应的节能计算，并列举了节能改造中常用的技术措施。

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